用于 5G 射频滤波器应用的高掺杂 AlScN 3.5 GHz XBAW 谐振器，具有 16% 的 k^2eff

2023-12-22

来源公司：Akoustis

作者报告了 3.5 GHz 体声波谐振器，观察到的 k2eff 在 14.2% 到 16% 之间，作者认为这是报告的 Sc 分子分数为 28% 时的最高值之一。在 3.5 GHz 频率下，测得的 Qp 高达 951，比最近报道的具有可比 Sc 分子分数的谐振器高出 3.8 倍。1070 的高 Qmax 与高 k2eff 相结合，在 Sc 分子分数为 28% 的情况下，达到了报告的最高 FOM（158）。此外，在 +40 dBm 至 +41.5 dBm 的 CW 功率水平下，对安装在评估 PCB 板上的随机选择的 3.5 GHz 器件进行了功率测试和损坏测试，结果表明该器件具有高功率性能能力。

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