半导体工艺应用中精密功率测量的校准技术

2023-12-22

来源公司：Bird

自等离子体首次用于晶片加工以来，射频功率测量一直是半导体加工的重要组成部分。由于射频能量用于激发等离子体，而等离子体的特性在很大程度上取决于激发能量，因此功率测量过去重要，现在仍然重要。本文讨论了测量射频功率的各种方法及其局限性。此外，它还介绍了射频功率测量仪器的最佳校准方法。

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