用于射频应用的可调谐 MEMS 电容器

2023-12-22

来源公司：Comsol

射频 MEMS 设备的出现，克服了半导体在高频率下的高损耗问题。可调微机电系统电容器是一种微米尺度的电子设备，其电容可通过控制运动部件的不同致动机制进行控制。根据功能的复杂程度，它可以采用静电或电热致动器，并要求在连续输入范围内具有可预测的行为。这项研究提出了一种适用于滤波器、振荡器、移相器和阻抗匹配网络的电热致动可调微机电系统电容器。该设计利用双金属条状致动器取代了传统的非对称臂式致动器。使用 COMSOL Multiphysics 进行的模型模拟能够提供表面变形、温度分布、应力分布和电流密度分布结果，并表明电容的变化幅度可达其初始值的十分之一。

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