螺旋电感器图案化接地屏蔽的高效电磁分析

2023-12-22

来源公司：Sonnet Software

图案化接地屏蔽被广泛用于提高硅基螺旋电感器的 Q 值。随着射频集成电路（RFIC）技术向更深的亚微米节点推进，接地屏蔽的几何形状可能变得异常复杂。这给电磁数值模拟器带来了巨大挑战。 本文探讨了几种接地屏蔽几何形状，并说明了一种新的各向异性导电片模型，通过替换连续但各向异性的导电片，即使是最复杂的接地屏蔽几何形状，也能进行高效的电磁分析。通过将使用这一新模型的电磁分析结果与实际接地屏蔽几何形状的电磁分析结果进行比较，验证了这一技术。我们还探讨了电感器和接地屏蔽（如果存在）在硅基板中感应电流的可视化问题。

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