TS150

分类：探针台和系统

厂家： MPI Corporation

型号： TS150

更新时间： 2025-12-11T00:16:08.000Z

简介：

150 mm Manual Probe System

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参数

卡盘尺寸 / Chuck Size : 150 mm
Chuck Planarity / Chuck Planarity : ±10 um
查克-西塔粗旅行 / Chuck Theta Coarse Travel : ±360 Degree
Chuck Theta 精细分辨率 / Chuck Theta Fine Resolution : ±7.5 x 10-3 Degrees
卡盘行程范围 / Chuck Travel Range : 180 x 230 mm
查克旅行决议 / Chuck Travel Resolution : 1 µm
Chuck Z 精确分辨率 / Chuck Z Fine Resolution : 1 µm
Chuck Z-Motion 系列 / Chuck Z-Motion Range : 10 mm
直径 / Diameter : 160 mm
材料 / Material : Nickel Plated Steel
测量类型 / Measurements Type : DC
测量类型 / Measurements Type : RF
显微镜移动分辨率 / Microscope Travel Resolution : 5 µm
显微镜移动范围 / Microsope Movement Range : 1 x 1 Inches
直流定位器数量 / Number Of DC Positioners : 10x
射频定位器数量 / Number Of RF Positioners : 4x
连接器 / Connectors : BNC, BNC - Female, Kelvin Triax, Kelvin Triax - Female
压盘 Z 运动范围 / Platen Z-Motion Range : 20 mm
类型 / Type : Manual
卡盘至压盘高度 / Chuck To Platen Height : 28 mm
真空孔截面 / Vacuum Hole Sections : 3 mm, 27 mm, 45 mm, 69 mm, 93 mm, 117 mm, 141 mm
电压 / Voltage : 500 V
应用 / Applications : Device Characterization, Modeling, Wafer Level Reliability, Failure Analysis, IC Engineering and MEMS

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MPI 公司成立于 1995 年，总部位于台湾新竹，是半导体、发光二极管 (LED)、光电探测器、激光器、材料研究、航空航天、汽车、光纤、电子元件等领域的全球技术领导者。MPI 的四大业务领域包括探针卡、光子自动化、高级半导体测试和热测试。他们提供四大产品系列，包括探针卡、测试仪、分拣机和 AOI 系统。 MPI 高级半导体测试部门提供各种手动、半自动和全自动工程探头系统、26 至 220 GHz 的射频探头以及独特的射频校准软件 QAlibria®。主要应用包括射频和毫米波、用于建模和工艺开发的器件表征、大功率、晶圆级可靠性、故障分析、集成电路工程和设计验证、硅光子学等。

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